檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "黃鶯聲".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="Raman"
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本研究在濺鍍壓力為5 mTorr及載台溫度為250℃的條件下成功開發出矽膜濺鍍磊晶技術,其所需真空度為1.0×10-6 Torr。另外在檢測磊晶矽膜的品質部份,本研究以Raman、RHEED系統量測…